サファイア | サンテック｜試作開発等から量産まで〜ダイシング加工のサンテック

LED用の基盤として優れた特性を有する

サファイアは自然界では宝石として存在が知られている酸化アルミニウム(Al2O3)の結晶体で、人口的に不純物を低減して成長させた高純度単結晶サファイアを基にしたウエハです。高温安定性、熱膨張率、化学安定性の優位性があることから特にLED用の基板として優れた特性を有しています。

サファイアの対応表

貼付け機

○対応サイズ
　Chip単体～φ300mm
□210×210以内

削る

BG/CMP

表面仕上げ

（#1400　#2000）

精度

厚みばらつき±3um

切る

ダイシングカーブ/サークル

カット方法

・フルカット

・ステップカット

・溝入れ

・サイズダウン

・穴あけ・丸加工

・多角形

詰める

ソーター

整列方法

・ハードトレイ (2～4㌅)

・テープtoテープ

(φ6~12インチシート）

選別方法

・マーク判定

・マップ判定(テキストファイル)

・分類　最大24(テキストファイル)

難削材を高トルクで加工 ∮4㌅厚み1mmｔのサファイアガラスを□5.0に加工＊最大20mmｔの厚みまで対応化